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日本orc半導(dǎo)體光刻機(jī) PPS-8200p1/8300p1 東洋研磨材TOYO 打磨機(jī)緊湊的通用機(jī) 用途：支持各種應(yīng)用 特長(zhǎng) -寬頻譜光刻 (與菜單連動(dòng)的 ghi線(xiàn) gh線(xiàn), i線(xiàn)的自動(dòng)切換) -搭載可變NA功能 (可變?yōu)?.16和0.1) -最多8Field的拼接設(shè)計(jì)格式 -光學(xué)系統(tǒng)不受感光材揮發(fā)氣體和周?chē)h(huán)境中化學(xué)物質(zhì)影響
更新時(shí)間：2025-02-22
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